Rastersondenmikroskopie

Bild einer Graphitoberfläche, dargestellt durch ein Rastertunnelmikroskop. Die blauen Punkte zeigen die Lage der einzelnen Atome der hexagonalen Graphitstruktur.

Rastersondenmikroskopie (englisch scanning probe microscopy, SPM) ist der Überbegriff für alle Arten der Mikroskopie, bei welchen das Bild nicht mit einer optischen oder elektronenoptischen Abbildung (Linsen) erzeugt wird wie beim Lichtmikroskop (LM) oder dem Rasterelektronenmikroskop (REM), sondern über die Wechselwirkung einer sogenannten Sonde mit der Probe. Die zu untersuchende Probenoberfläche wird mittels dieser Sonde in einem Rasterprozess Punkt für Punkt abgetastet. Die sich für jeden einzelnen Punkt ergebenden Messwerte werden dann zu einem digitalen Bild zusammengesetzt.